急速に進化するテクノロジー。半導体ウェハー・デバイス・フォトマスクや液晶の分野では、産業・社会・暮らしを根底で支える技術インフラストラクチャーとして、ミクロンメーターからナノメーターへとパーティクル対策は想像をはるかに超えたスピードで進化しています。